300keV TEM beam current
Current in TEM
Name | CSA, EL, HS |
Date | 21st Oct 2016 |
Condition
Acc. Voltage[kV] | 300 |
A1[kV] | 3.49 |
Emission [uA] | 15.1 |
A2 [kV] | 5.01 |
Current CLAp 150um
TEM Spot 1[nA]* | 10.3 |
TEM Spot 2[nA] | 4.64 |
TEM Spot 3[nA] | 2.50 |
TEM Spot 4[nA] | 1.49 |
TEM Spot 5[nA] | 0.955 |
*Note Default : 10.5nA using A2 with Emission of 15uA
Current CLAp 100um
TEM Spot 1[nA] | 4.52 |
TEM Spot 2[nA] | 1.96 |
TEM Spot 3[nA] | 1.02 |
TEM Spot 4[nA] | 0.60 |
TEM Spot 5[nA] | 0.38 |
Current CLAp 70um
TEM Spot 1[nA] | 2.2 |
TEM Spot 2[nA] | 0.94 |
TEM Spot 3[nA] | 0.47 |
TEM Spot 4[nA] | 0.25 |
TEM Spot 5[nA] | 0.15 |
Current CLAp 50um
TEM Spot 1[nA] | 1.17 |
TEM Spot 2[nA] | 0.54 |
TEM Spot 3[nA] | 0.29 |
TEM Spot 4[nA] | 0.18 |
TEM Spot 5[nA] | 0.12 |
Current CLAp 40um
TEM Spot 1[nA] | 0.681 |
TEM Spot 2[nA] | 0.307 |
TEM Spot 3[nA] | 0.167 |
TEM Spot 4[nA] | 0.103 |
TEM Spot 5[nA] | 0.069 |
Current CLAp 30um
TEM Spot 1[nA] | 0.41 |
TEM Spot 2[nA] | 0.19 |
TEM Spot 3[nA] | 0.1 |
TEM Spot 4[nA] | 0.063 |
TEM Spot 5[nA] | 0.042 |
Current CLAp 20um
TEM Spot 1[nA] | 0.16 |
TEM Spot 2[nA] | 0.072 |
TEM Spot 3[nA] | 0.037 |
TEM Spot 4[nA] | 0.024 |
TEM Spot 5[nA] | 0.016 |
Current CLAp 10um
TEM Spot 1[pA] | 40.4 |
TEM Spot 2[pA] | 17.2 |
TEM Spot 3[pA] | 9.5 |
TEM Spot 4[pA] | 5.8 |
TEM Spot 5[pA] | 4.0 |