300keV TEM beam current

Current in TEM

Name

CSA, EL, HS

Date

21st Oct 2016


Condition

Acc. Voltage[kV]

300

A1[kV]

3.49

Emission [uA]

15.1

A2 [kV]

5.01


Current CLAp 150um

TEM Spot 1[nA]*

10.3

TEM Spot 2[nA]

4.64

TEM Spot 3[nA]

2.50

TEM Spot 4[nA]

1.49

TEM Spot 5[nA]

0.955

*Note Default : 10.5nA using A2 with Emission of 15uA
Current CLAp 100um

TEM Spot 1[nA]

4.52

TEM Spot 2[nA]

1.96

TEM Spot 3[nA]

1.02

TEM Spot 4[nA]

0.60

TEM Spot 5[nA]

0.38


Current CLAp 70um

TEM Spot 1[nA]

2.2

TEM Spot 2[nA]

0.94

TEM Spot 3[nA]

0.47

TEM Spot 4[nA]

0.25

TEM Spot 5[nA]

0.15


Current CLAp 50um

TEM Spot 1[nA]

1.17

TEM Spot 2[nA]

0.54

TEM Spot 3[nA]

0.29

TEM Spot 4[nA]

0.18

TEM Spot 5[nA]

0.12



Current CLAp 40um

TEM Spot 1[nA]

0.681

TEM Spot 2[nA]

0.307

TEM Spot 3[nA]

0.167

TEM Spot 4[nA]

0.103

TEM Spot 5[nA]

0.069


Current CLAp 30um

TEM Spot 1[nA]

0.41

TEM Spot 2[nA]

0.19

TEM Spot 3[nA]

0.1

TEM Spot 4[nA]

0.063

TEM Spot 5[nA]

0.042


Current CLAp 20um

TEM Spot 1[nA]

0.16

TEM Spot 2[nA]

0.072

TEM Spot 3[nA]

0.037

TEM Spot 4[nA]

0.024

TEM Spot 5[nA]

0.016


Current CLAp 10um

TEM Spot 1[pA]

40.4

TEM Spot 2[pA]

17.2

TEM Spot 3[pA]

9.5

TEM Spot 4[pA]

5.8

TEM Spot 5[pA]

4.0